MEMS傳感器市場浪潮可以從最早的汽車電子到近些年來的消費(fèi)電子,和即將來到的物聯(lián)網(wǎng)時代。如今單一的傳感器已不能滿足人們對功能、智能的需要,像包括MEMS慣性傳感器、MEMS環(huán)境傳感器、MEMS光學(xué)傳感器、甚至生物
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